第一層次過濾，進氣口空氣過濾：將吸入氣體中的固體顆粒攔截下來。并通過對較大雜質、粉塵顆粒的攔截，很大程度地減輕后端兩層次過濾的壓力，減少真空泵運行中的機械磨損，延長真空泵的使用壽命。

　　

　　第二層次過濾，真空泵油的過濾：油式真空泵是以真空泵油作為介質來抽真空的，真空泵運行過程中，油品長期在高溫下工作，會逐漸碳化變質，漸漸膠質化。另外真空泵葉片等部件在旋轉中也會有所摩擦，會產生一些粉塵顆粒，這些膠化的油品及粉塵顆?；旌显谡婵毡糜椭幸黄疬\轉，因此須通過油過濾器及時將它們收集起來。這時真空泵過濾器就能起到一種很好的保護作用，污質由它收集和容納起來了。

　　

　　第三層次過濾，排氣過濾:真空泵排出氣體中含有大量的油霧顆粒，如果不經過分離處理，這些油霧顆粒隨著氣體一起排出來，就形成了大家通常所說的“冒煙”，真空泵“冒煙”了，車間的工作環(huán)境就受到了污染，而且真空泵油也就流失得特別快，需要每天對真空泵進行加油。
        這時，有了排氣過濾器就可以解決這一問題。油氣混合物在排出時需要穿過排氣過濾器的高精度玻纖濾紙，油霧顆粒以液體的形態(tài)無法直接穿過玻纖濾紙，于是就附著在濾紙上，后面越來越多的油霧顆粒附著在濾紙上再結集成油滴回流真空泵內，干凈的氣體則在一定的壓力下穿過玻纖紙順利排出，這樣真空泵油霧收集器濾芯就達到了油氣分離的作用。